v

您的位置:VeryCD图书教育科技

图书资源事务区


《微机械与微细加工技术》(苑伟政 & 马炳和)扫描版[PDF]

  • 状态: 精华资源
  • 摘要:
    出版社西北工业大学出版社
    发行时间2001年01月
    语言简体中文
  • 时间: 2010/04/22 23:20:49 发布 | 2010/04/22 23:22:06 更新
  • 分类: 图书  教育科技 

哈里森

精华资源: 3482

全部资源: 3483

相关: 分享到新浪微博   转播到腾讯微博   分享到开心网   分享到人人   分享到QQ空间   订阅本资源RSS更新   美味书签  subtitle
该内容尚未提供权利证明,无法提供下载。
中文名微机械与微细加工技术
资源格式PDF
版本扫描版
出版社西北工业大学出版社
书号9787561212745
发行时间2001年01月
地区大陆
语言简体中文
简介

IPB Image

内容简介:

微机械是80年代末出现的一门崭新的学科,被誉为21世纪最具代表性的技术之一。本书共分8章,结合作者近年来的研究工作,系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果,内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构,微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、同传感器、微致动器臁其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器械人等等。本书可供从事微机械研究的科技人员使用,也可供相关学科的师生参考。

内容截图:

IPB Image



目录

绪论
第一章 微机械理论的基础
1.1 微机械学
1.2 微动力学
1.3 微电力学
1.4 微光学
1.5 微流体力学
1.6 微热力学
1.7 微摩擦学
1.8 纳米生物学
1.9 分子装配技术
第二章 微机械材料与微结构
2.1 引言
2.2 微机械材料
2.3 微结构与微型智能结构
第三章 微细加工技术
3.1 引言
3.2 硅微细加工技术
3.3 光刻技术
3.4 牺牲层技术
3.5 外延技术
3.6 高能束刻
3.7 LIGA技术
3.8 微细立体光刻技术
3.9 精密放电加工技术与趋精密机械加工技术
3.10 微机械装配与集成
第四章 准分子激光微细加工技术
4.1 引言
4.2 准分子激光器及其工作原理
4.3 直写微细加工的准分子激光束特性
4.4 准分子激光直写微细加工
4.5 准分子激光直写微细加工系统
4.6 准分子激光直写刻蚀基本规律
……
第五章 微检测技术
第六章 微传感器
第七章 微致动器及其它微器件
第八章 典型微型电子机械系统与微机器人
参考文献

正在读取……

这里是其它用户补充的资源(我也要补充):

暂无补充资源
正在加载,请稍等...

点击查看所有27网友评论

 

(?) [公告]留口水、评论相关规则 | [活动]每日签到 轻松领取电驴经验

    小贴士:
  1. 类似“顶”、“沙发”之类没有营养的文字,对勤劳贡献的楼主来说是令人沮丧的反馈信息。
  2. 提问之前请再仔细看一遍楼主的说明,或许是您遗漏了。
  3. 勿催片。请相信驴友们对分享是富有激情的,如果确有更新版本,您一定能搜索到。
  4. 请勿到处挖坑绊人、招贴广告。既占空间让人厌烦,又没人会搭理,于人于己都无利。
  5. 如果您发现自己的评论不见了,请参考以上4条。